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DLC硬质涂层真空镀膜机

2015-04-27字体:
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DLC硬质涂层真空镀膜机
  适用范围:工模具、汽车配机、缝纫机配件、注塑机配件等需要进行耐磨涂层的金属

  用于镀制DLC、TiN、TiCN、CrN、AlTiN、CrAlTiN等超硬膜层、耐磨涂层、自润滑涂层的真空镀膜机。配有条形离子源、磁控靶、分子泵等。全自动控制,设有各种涂层的参考工艺。交钥匙工程。并为客户提供PVD耐磨涂层、DLC涂层的镀膜技术培训。

  设备结构:

  设备室体有304不锈钢双夹层,内设三维工作转架,两只矩形平面靶提供底层过渡层,室内设有基材加热系统中心温度250度,另设两个条形气体离子源,美国NE离子源电源,来保证乙炔离化率,基材工位配置负偏压保证膜层结合力。

  真空机组:

  粗抽泵,罗茨泵分子泵KYKY,极限真空度2X10-4Pa,四路充气系统(数字控制)直流电源2套。

  真空限流:

  真空限流配有步进控制系统来保证真空压差的精确。

  本公司可以提供DLC镀膜工艺,协助厂家完成工艺操作。